氦氣質(zhì)譜泄漏檢測(cè)器以氦為泄漏氣體，用氣體分析儀檢測(cè)氦氣。是國(guó)內(nèi)外真空容器泄漏檢測(cè)的先進(jìn)技術(shù)。與一般泄漏檢測(cè)技術(shù)相比，氦氣質(zhì)譜泄漏檢測(cè)技術(shù)具有快速、準(zhǔn)確、靈敏度高、無損傷等優(yōu)點(diǎn)。氦氣質(zhì)譜泄漏檢測(cè)器的示蹤氣體也可以是其他元素。但氦氣通常被選擇，因?yàn)楹饩哂幸韵绿攸c(diǎn)：
    1、氦氣在空氣中的含量很小，只占20萬分之一左右，容易發(fā)現(xiàn)；
    2、氦氣分子小，質(zhì)量輕，易擴(kuò)散，比其他氣體更容易穿越漏洞；
    3、氦氣離子荷質(zhì)比小，易于質(zhì)譜分析；
    4、氦氣無毒無味，對(duì)大氣無污染；
    5、氦氣是惰性氣體，化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定，不會(huì)腐蝕和損壞設(shè)備；
    6、氦氣無毒，不凝結(jié)，很難容納水；
    由于氦氣具有上述特性，高純氦氣泄漏檢測(cè)的應(yīng)用已經(jīng)從科研機(jī)構(gòu)到工業(yè)企業(yè)甚至個(gè)體企業(yè)，可以說應(yīng)用領(lǐng)域非常廣泛。