氦質(zhì)譜檢漏儀采用高純氦氣作為泄漏氣體，利用氣體分析儀檢測(cè)氦氣進(jìn)行檢漏。是國(guó)內(nèi)外真空容器檢漏的先進(jìn)技術(shù)。與一般檢漏技術(shù)相比，氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)具有快速、準(zhǔn)確、靈敏度高、無損等優(yōu)點(diǎn)。氦質(zhì)譜檢漏儀的示蹤氣體也可以是其他元素。然而，通常選擇氦氣是因?yàn)樗哂幸韵绿匦裕?br />     1、空氣中氦氣的含量很少，只有1/200,000左右，很容易找到；
    2、氦分子小，重量輕，易于擴(kuò)散，比其他氣體更容易通過泄漏點(diǎn)；
    3、氦離子荷質(zhì)比小，易于質(zhì)譜分析；
    4、氦氣無毒、無味，對(duì)大氣無污染。
    5、氦氣是惰性氣體，化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定，不會(huì)腐蝕或損壞設(shè)備；
    6、氦氣無毒、不凝結(jié)，并且極難溶于水。
    由于氦氣具有上述特性，氦氣檢漏的應(yīng)用已從科研院所走向工業(yè)企業(yè)乃至個(gè)體企業(yè)?？梢哉f應(yīng)用領(lǐng)域極其廣泛。推薦閱讀相關(guān)文章：高純氦氣玩火會(huì)爆炸嗎？